摘要:随着近现代工业技术的发展和科学研究的进步,人们对于成像的精度要求逐渐提高,高精度、高效率已经成为成像技术发展的方向。而激光具有的相干性高、单色性好、亮度高等优秀性质,使得短波长激光干涉成像系统在成像分辨率上具有其他干涉系统无可匹敌的优势。传统的激光成像方法由于受到孔径限制的因素,其分辨率要低于衍射极限分辨率,已经不能满足现阶段灵活、精密成像技术的需求。而短波长激光干涉成像方法不同于以往的传统成像方式,它除了继承了传统成像的优点之外,还新增了成像灵活的特点,并且可以得到超越衍射极限分辨率的像,因此,激光干涉成像系统在军事领域和工业制造中都具有非常广阔的运用前景。在能够预见的未来,激光干涉成像技术还会有更大的发展空间。本文通过对干涉成像原理的深入分析,对原来的激光干涉成像系统进行改进,设计出一套相干成像装置。装置结构采用M-Z干涉结构,采用分光棱镜为分束器,用显微物镜作为成像透镜,探测器采用CCD,以实现微米能级的物体成像,在一定程度上拓展了激光干涉成像系统的用途。

关键词：干涉原理；激光干涉成像；分辨率；杂散光

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摘要

Abstract

1 绪论- 1 -

1.1光的干涉的发展历史- 1 -

1.2干涉成像技术- 2 -

2成像系统整体方案设计- 4 -

2.1设计目的- 4 -

2.2设计思路与分析- 4 -

2.3设计方案- 4 -

3成像测试实验- 5 -

3.1 实验系统- 5 -

3.2实验过程- 8 -

4测量结果及分析- 9 -

结    论- 10 -

参 考 文 献- 11 -

致    谢- 13 -