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摘要:本文采用溶胶-凝胶法将乙酸锌作为前驱体,乙醇胺作为稳定剂,异丙醇作为溶剂,以及氯化铜作为掺杂剂并结合旋涂工艺,制备出了掺杂浓度不同的氧化锌样品薄膜。并使用X射线衍射仪(XRD)对薄膜的晶体结构进行了分析,使用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的表面形貌进行了表征,使用紫外-可见(UV-vis)吸收透射光谱仪对薄膜的可见光透过率进行了检测,使用光致发光光谱(PL)对薄膜的发光性能进行了测试。得到的结论是:铜掺杂氧化锌薄膜为六方晶系纤锌矿结构特征,随着Cu的掺入及其浓度的不同,氧化锌薄膜样品的表面形貌也随之变化,由均匀分布的颗粒状转向堆叠分布。同时,薄膜一方面吸收所有的紫外光,另一方面对可见光有较高的透过率。在370nm激光的激发下,所有掺杂浓度的样品都发出较强的蓝光。 关键词:溶胶凝胶法(Sol-Gel);SEM;XRD;PL;ZnO:Cu薄膜
目录 摘要 Abstract 第一章 绪论-1 1.1 ZnO薄膜的研究背景-1 1.2 ZnO 的基本性质-1 1.3 ZnO材料的研究概况-2 1.3.1 ZnO材料中的本证缺陷-3 1.3.2 ZnO p型掺杂的研究进展-4 第二章 Cu掺杂ZnO薄膜的制备-6 2.1 实验试剂和仪器-6 2.2 技术路线-7 2.3 Cu掺杂ZnO薄膜的制备-7 2.3.1 器材准备-7 2.3.2 实验过程-8 第三章 结果与讨论-9 3.1 XRD分析-9 3.2 SEM分析-10 3.3 Cu掺杂ZnO薄膜的光学特性-12 3.3.1紫外可见吸收光谱分析-12 3.3.2 PL分析-13 结论-15 参考文献-16 致谢-18 |