摘 要：单光子探测器是微弱信号探测领域应用与研究的核心，在物理、化学、天文学科及量子信息技术领域有重要作用，具有低扰动、高计算速率等特性，探测波段可覆盖可见光到红外光波段。本文介绍了可见光领域里成熟的半导体探测器，分析了红外波段的应用局限性，重点介绍了超导单光子探测器的探测原理，在MgO衬底上制备了近红外波段的超导单光子探测器，在液氦温区测量了器件的超导性能，系统探测效率超过60%。

关键词：单光子探测器，半导体，超导体

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摘要

Abstract

1 绪论-6

1.1 量子通信-6

1.2 单光子-6

1.3 单光子探测器-7

1.4 纳米技术-7

2 半导体单光子探测器的发展历史-8

2.1 光电倍增管-8

2.2 雪崩光电二极管-9

3 超导单光子探测器-9

3.1 发展的必要性-9

3.2 主要工作过程-10

3.3 SNSPD的结构及制备-11

结  论-13

参 考 文 献-14

致  谢-15