摘要：本次毕业设计利用COMSOL软件，通过建立一个一维等离子体流体模型,模拟在低气压下氦气介质阻挡放电的整个放电过程。在COMSOL软件仿真模拟低气压氦气介质阻挡放电中,在改变电压和气压的情况下，研究电子密度、电子温度、激发态氦原子密度、氦离子密度的变化情况，结果表明:固定电源频率为50kHz,平行板间距为2mm时,电压从1kV提高到3kV,电子密度、氦离子密度、电子温度、激发态氦原子密度均增大；固定电源频率为50 kHz时,平行板间距为2mm，在低气压的范围内,气压从0.3atm提高到0.7atm,电子密度、激发态氦原子密度均有提高，而电子温度减小 ，氦离子密度先减小后增大。

关键词：介质阻挡放电；等离子体；放电特性；低气压

目录

摘要

Abstract

1 绪论-1

1.1等离子体介绍-1

1.1.1等离子体-1

1.1.2等离子体的应用-2

1.2 介质阻挡放电-3

1.2.1放电条件-3

1.2.2放电模式-3

1.3 毕业设计（论文）研究内容-3

2低气压氦气介质阻挡放电特性的仿真实验研究-5

2.1 理论模型-5

2.1.1模型定义-5

2.2.2边界条件-6

2.2模拟结果与分析-7

2.2.1不同电压下氦气介质阻挡放电特性-7

2.2.2不同气压下氦气介质阻挡放电特性-12

结    论-17

参 考 文 献-18

致    谢-19