摘要：对于本课题的研究,通过COMSOL软件建立一个一维等离子体直流放电模型，模拟了低气压氩气介质阻挡放电均匀放电的整个过程。通过对模型和计算结果的了解与研究，以及对不同气压和电压下电子密度和电子温度、氩离子密度和激发态氩原子密度时空分布的分析。在其他参量恒定不变的情况下，计算结果表明：随着低气压数值以及高电压幅值的改变，等离子体参量均有所变化。其一，当变量为气压时，对于同一时刻，电子密度和电子温度峰值均随着气压的减小而不断地增大；同时，氩离子虽按周期运动却随位置而无规则变化；而对于同一位置而言，激发态氩原子密度却随着气压的降低不断地增加。其二，当变量为气压时，对于同一时刻，电子密度峰值随着电压的增加而先增加后减小；氩离子密度峰值随之先增大后减小；电子温度峰值和激发态氩原子密度峰值均随之而增加；

关键词：介质阻挡放电；低气压；等离子体；仿真模拟

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摘要

Abstract

1 绪论-1

1.1 介绍-1

1.1.1 氩气的可行性-1

1.1.2等离子体-2

1.2 介质阻挡放电-4

1.2.1 低气压下介质阻挡放电特性应用-4

1.3 毕业设计（论文）研究内容-5

2 低气压氩气介质阻挡放电特性的模拟-6

2.1 理论模型-6

2.1.1模型定义-6

2.1.2域方程-7

2.1.3边界条件-8

2.2模拟结果与分析-9

2.2.1不同气压下氩气介质阻挡放电特性-10

2.2.2不同电压下氩气介质阻挡放电特性-15

结    论-22

参 考 文 献-24

致    谢-25