摘要：感性耦合等离子体（即ICP）具有密度高、装置简单以及利于我们在生产中进行控制的优点，因此在许多工业生产之中得到了大量的应用。另一方面，射频感性耦合等离子体还具有放电气压低，灵敏度高的优点，在工业的生产以及工程的制造等领域有着广泛的应用。因此，探究感性耦合等离子体的放电发生条件，对耦合等离子体的性质进行不同方向的研究，成为越来越多科研工作者的工作目标。

本文利用COMSOL软件对感性耦合等离子体的放电发生条件进行数值模拟，利用了虚拟模拟实验构建耦合等离子体流体模型，采用了数值模拟以及控制变量这两种主要的方法来测试在不同条件下气体放电的不同结果与现象，对感性耦合等离子体进行定性分析，以此来探究不同条件下的感性耦合等离子体的电离发生与否，通过此种方法，来探究感性耦合等离子体的性质，对耦合等离子体有进一步的认识与了解。

关键词：感性耦合等离子体；流体模型；数值模拟；气体放电

目录

摘要

Abstract

1 引言-1

1.1 等离子体的简介及应用-1

1.2感性耦合等离子体的特性-1

2 感性耦合等离子体流体模型的构建-3

2.1 COMSOL软件的简介以及应用优点-3

2.2流体模型构建的实验流程-3

2.3功率与最低气压极限值的关系-4

2.4温度与最低气压极限值的关系-6

2.5频率对气体放电的影响-8

3研究方法-10

3.1数值模拟-10

3.2控制变量-10

4 一些外部参数对ICP影响的研究情况-12

4.1气体参数-12

4.2发生腔室的几何参数-12

4.3线圈的结构参数-12

4.4电源参数-13

5对虚拟仿真实验的评估-14

结论-15

参考文献-16

致谢-17