摘要：等离子体物理和应用是一项具有全球性影响的重要科学和工程，它直接影响着高新技术产业的发展和许多传统产业的转型。根据不同的激励方式、工作压力和电极配置，形成不同的放电模式，不同的放电模式对应于宽的参数范围和特性的差异。

低压辉光放电或常压直流辉光放电的经典结构仍被广泛应用，但采用射频、磁场或微波激励等新的激发模式，其作用越来越重要，可以有效地改善等离子体密度。能量吸收效率。这些不同的激励模式与工作压力和放电电位相结合，形成各种等离子体放电模式，特别是等离子体放电模式的新概念，如微等离子体等。

本文简要介绍了等离子体的概念、基本物理机制、几种不同放电模式的特点以及COMSOL软件的应用。

关键词：等离子体；等离子体放电模式；COMSOL软件

目录

摘要

Abstract

1.绪论-1

1.1 等离子体的概念-1

1.2 发展-2

1.3 理论基础-2

1.4 研究方法-3

1.5理论分析-3

2.实验部分-5

2.1 COMSOL软件介绍-5

2.2等离子体水放电设备模型构建-6

2.3 放电等离子体的生成模式-7

2.3.1水膜无声放电方式-7

2.3.2 水雾电晕放电方式-7

2.3.3 水中气泡放电方式-8

2.4 等离子体诊断-8

2.5 等离子体的基本放电模式-10

2.5.1直流辉光放电-10

2.5.2 射频电容耦合放电-10

2.5.3 脉冲辉光放电-10

2.5.4 大气压辉光放电-11

2.5.5 介质阻挡放电-11

2.5.6 电晕放电-11

2.5.7 磁控放电-11

2.6 低气压高密度等离子体-12

3.实验数据-13

4 结论-21

参考文献-21

致谢-22