摘要：沿面放电等离子体易产生大面积的均匀等离子层，因其潜在的应用价值引起了广泛的关注。其中大气压下的气体放电不需要用到昂贵的真空装置，能大规模的应用于工业，近年来成为很受关注的一项新的等离子体技术。由于大气压下气压高，放电易从非平衡态等离子体转化为热平衡等离子体，目前已经有多种放电方式来抑制此类转化，从而得到稳定的大气压非平衡等离子体，比如微放电、脉冲放电等方式。

本文主要介绍大气压下微尺寸空气沿面放电的研究。在实验上利用PCB板制作微放电介质阻挡放电装置，通过改变电极的结构参数（焊盘的宽度、间距以及PCB板的厚度），研究其电学及放电形态的变化。得到相关结构下的放电特性及最优化的结构方案。

关键词：沿面放电；微等离子体；气体放电；介质阻挡放电

目录

摘要

Abstract

1 绪论-1

1.1 大气压沿面放电研究的意义-1

1.2低温等离子体的应用前景-1

1.2.1等离子体分类-1

1.2.2低温等离子体的产生方法-2

1.2.3低温等离子体的应用-2

1.3大气压微等离子体研究的意义-3

1.4 大气压介质阻挡沿面放电的研究现状-3

1.5 本论文工作-5

2 实验装置与方法-6

2.1 实验装置与方法-6

2.2 PCB板简介-7

3 实验结果与讨论-9

3.1 施加电压对空气沿面放电的影响-9

3.2 焊盘宽度对空气沿面放电的影响-11

3.3 焊盘间距对空气沿面放电的影响-12

3.4 PCB板厚度对空气沿面放电的影响-14

结    论-17

参 考 文 献-18

致    谢-19